Статьи автора: Румянцев Ю.М.

Результатов найдено: 1

	СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ В ПЛЕНКАХ SiC,N,Hz, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА Румянцев Ю.М.,Надолинный В.А.,Файнер Н.И.,Кожемяченко СИ.,Шаяпов В.Р. Журнал структурной химии, 2015, 6, С. 49-54