РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Найти!
Журнал структурной химии/2015/№ 6/
В наличии за
300 руб.
Купить
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:

СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ В ПЛЕНКАХ SiC,N,Hz, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА

Методом спектроскопии электронного парамагнитного резонанса исследованы парамаг-нитные центры в пленках SiCxNyHz, полученных плазмохимическим осаждением из па-ров гексаметилдисилазана. Обнаружено, что в пленках присутствуют оборванные связи на атоме углерода, причем их концентрация значительно увеличивается с ростом темпе-ратуры осаждения. Методом спектроскопии комбинационного рассеяния света определена область температур осаждения, внутри которой пленки содержат кластеры углерода. Установлено сходство в свойствах пленок, синтезированных при высоких темпера-турах осаждения, и пленок, изначально осажденных при низких температурах и затем подвергнутых отжигу. Результаты исследований интерпретированы с использованием известных данных о составе и структуре пленок, а также имеющихся в литературе пред-ставлений.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Tomasella E., Spinelle L., Bousquet A., Rebib F., Dubois M., Eypert C., Gaston J.P., Cellier J., Sauvage T. // Plasma Process. <...> Методом спектроскопии электронного парамагнитного резонанса исследованы парамаг-нитные центры в пленках SiCxNyHz, полученных плазмохимическим осаждением из па-ров гексаметилдисилазана. <...> Установлено сходство в свойствах пленок, синтезированных при высоких темпера-турах осаждения, и пленок, изначально осажденных при низких температурах и затем подвергнутых отжигу. <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

  • Похожие документы из РУАЭСТ
  • |
  • Похожие документы из Руконт

Помощь:

Участники:

© НЦР Руконт 2014