РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Стаценко В.Н.
Результатов найдено: 1
|
Исследование структурных свойств кремния на сапфире в процессе гидридно-хлоридной газофазной гетероэпитаксииСтаценко В.Н.,Емельянов А.В.,Тимошенков С.П.,Соколов Е.М.,Федотов С.Д.
|