РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Федотов С.Д.
Результатов найдено: 1
|
Исследование структурных свойств кремния на сапфире в процессе гидридно-хлоридной газофазной гетероэпитаксииФедотов С.Д.,Емельянов А.В.,Тимошенков С.П.,Соколов Е.М.,Стаценко В.Н.
|