РУАЭСТ (RUAEST)
|
Формирование наноразмерных элементов затворов СВЧ-транзисторов методом ионно-лучевой литографииЦарик К.А.,Зайцев А.А.,Неволин В.К.,Лаврентье К.К.,Розанов Р.Ю.
|