Статьи автора: Шаяпов В.Р.

Результатов найдено: 1

	СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ В ПЛЕНКАХ SiC,N,Hz, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА Шаяпов В.Р.,Надолинный В.А.,Файнер Н.И.,Кожемяченко СИ.,Румянцев Ю.М. Журнал структурной химии, 2015, 6, С. 49-54