Защитные диэлектрические пленки и методы их получения
В данной статье рассмотрены материалы и методы нанесения защитных диэлектрических покрытий, а именно полимерных и оксидных покрытий. Представлены результаты исследований оксидных покрытий ZrO2 и TiO2, полученных экстракционно-пиролитическим методом.