КИНЕТИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК ТВЕРДОГО РАСТВОРА (SiC)1-x(AℓN)x ИОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ

Исследовалась кинетика распыления многокомпонентной прессованной мишени для получения твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x методом магнетронного распыления. Рассмотрены классическая (молекулярная) и кластерная модели распыления мишени. Показаны зависимости скорости и коэффициента распыления от параметров системы (плотности ионного потока, энергии ионов), а также от размеров кластера. Достигнута высокая корреляция расчетных и экспериментальных результатов

• Каргин Н.И.
• Рындя С.М.
• Сафаралиев Г.К.
• Кузнецов Г.Д.
• Харламов Н.А.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Технические науки. Промышленность