Рассмотрены вопросы определения параметров процесса микроплазменного оксидирования при получении покрытий с заданными свойствами. Представлены математические выражения для переходного процесса в цепи гальванической ванны при воздействии поляризующим напряжением прямоугольной и трапецеидальной формы. Предложены методики определения параметров микроплазменной системы и произведена оценка влияния формы поляризующего напряжения на характер переходного процесса