ФИЗИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ИОННО-ЛУЧЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ А3В5

Процесс образования пленки в результате ионно-лучевого осаждения представлен как базовый элемент технологии получения наноструктур нового типа – островковых многокомпонентных ультратонких слоев. Обсуждаются конструкция технологической установки и особенности формирования наноразмерных плёнок твердого раствора GaInPAs. Приведены результаты электронно-микроскопического анализа и исследования фотолюминесцентных свойств полученных структур

• Гусев Д.А.
• Сысоев И.А.
• Благин А.В.
• Лунина М.Л.
• Шошиашвили И.С.

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Технические науки. Промышленность