РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Известия высших учебных заведений. Северо-Кавказский регион. Технические науки/2011/№ 6/

ОСТРОВКОВЫЕ СТРУКТУРЫ, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДОМ МИКРОРАЗМЕРНЫХ РОСТОВЫХ ЯЧЕЕК

Показано, что методом микроразмерных ростовых ячеек могут быть получены на поверхности кремния ансамбли упорядоченных островковых структур. Выяснены механизм их возникновения и условия, при которых эти структуры приобретают наноразмеры. Исследованы их свойства и характер распределения по размерам и по поверхности подложки

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы: