ЭЛЕКТРОННО-ЭМИССИОННЫЕ ДАТЧИКИ СКОРОСТИ ОСАЖДЕНИЯ ВЕЩЕСТВ ПРИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОМ ИСПАРЕНИИ

В статье описаны существующий электронно-эмиссионный метод контроля скорости осаждения веществ из паровой фазы при электронно-лучевом испарении в вакууме и датчики на его основе. Предлагается усовершенствование электронно-эмиссионного датчика путем применения магнетронного эффекта. Приведены экспериментальные данные нового датчика

• Семенов Э.И.
• Черников В.Д.

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Технические науки. Промышленность
• Физико-математические науки