ДИАГНОСТИКА ХАРАКТЕРИСТИК ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА

Предложен метод диагностики характеристик высокочастотного емкостного разряда, используемого в плазмохимических процессах модифицирования твердых материалов. Метод предусматривает подключение к разрядному конденсатору измерительного колебательного контура и дальнейшее определение параметров цепи – тока разряда, активного сопротивления плазмы, эквивалентной емкости разрядного конденсатора в условиях настройки контура в резонанс

• Ковальчук А.В.
• Юленец Ю.П.
• Самсонов А.Г.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Технические науки. Промышленность
• Физико-математические науки