Рассматриваются физические основы работы нано-МОП транзисторов со сверхтонким основанием. Выведены аналитические выражения для переходных вольтамперных характеристик и крутизны. Приведены рассчитанные зависимости Ic = Ic(Vзи) и S = S(Vзи) для нано-МОП транзисторов со структурой n++-n-n++.