Методом рентгеноспектрального микроанализа исследованы концентрационные профили основных компонентов реакции в области гетероперехода системы Ga2Se3–GaAs, полученной в процессе термостимулированного гетеровалентного замещения анионов. Показано, что режимы квазиравновесной и диффузионной квазистационарной доставки халькогена в зону реакции различны по кинетике роста слоёв А2IIIС3VI. Независимо от этого концентрационные профили элементов реакции самоорганизуются с течением времени отжига, что позволяет воспроизводимо реализовывать гетероструктуры с резкой границей раздела