В работе представлены результаты расчета содержания различных комплексных форм в растворах InCl3 в присутствии тиокарбамида. Проведено исследование элементного состава и оптических свойств слоев сульфида индия, образующихся на поверхности кремния и кварцевого стекла при осаждении методом пиролиза аэрозоля из этих растворов. Полученные данные говорят о том, что образование сульфида индия может происходить как за счет термодеструкции тиокарбамидных комплексов, так и за счет взаимодействия оксида индия с тиомочевиной при термическом разложении последней