Физико-химические процессы при формировании тонких пленок в системе Р[2]O[5]-SiO[2]
Золь-гель методом синтезированы тонкие пленки в системе SiO[2]-P[2]O[5]. Изучены физико-химические процессы в растворе при термической обработке пленок. Определены условия получения пленок разной толщины. Рассчитаны кинетические параметры и проведен сравнительный анализ процессов синтеза SiO[2] в тонкой пленке и в объемной фазе.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
В.В. Козик, Т.С. Петровская*, Л.П. Борило
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК
В СИСТЕМЕ P2O5 – SiO2
(Томский государственный университет, <...> *Томский политехнический университет)
e-mail: pts@tpu.ru
Золь-гель методом синтезированы тонкие пленки в системе SiO2 – P2O5. <...> Рассчитаны кинетические параметры и проведен
сравнительный анализ процессов синтеза SiO2 в тонкой пленке и в объемной фазе. <...> Ключевые слова: золь-гель метод синтеза, пленки SiO2 – P2O5, кинетические параметры
Структурно-энергетические особенности
нанодисперсных систем, проявляющиеся в особенностях
свойств получаемых наноматериалов,
обусловили возникновение и бурное развитие новой
отрасли – технологии нанодисперсных систем
и материалов [1-2]. <...> Золь-гель технология
часто используется при получении тонких пленок
для электронной техники, светотехнической про120
мышленности,
других продуктов. <...> Система SiO2 – P2O5 заслуживает внимания
тем, что ее компоненты и бинарные смеси, близкие
к ним по составу, образуют стекла, представляющие
большой интерес, как в научном, так и практическом
плане. <...> Как бинарные, так и поликомпонентные
силикофосфатные стекла традиционно используются
при получении оптических сред, а в последние
десятилетия и в других областях, включая биомедицину. <...> Получение силикофосфатных стекол
традиционным сплавлением сырьевых материалов
– чрезвычайно трудоемкий и трудно управляемый
процесс, что имеет следствием неопределенность
состава стекла и удорожание продукта. <...> 8
Целью настоящей работы является получение
тонких пленок в системе SiO2 – P2O5 с содержанием
оксида фосфора от 0 до 30 %, а также
исследование физико-химических процессов при
их формировании. <...> Синтез тонких пленок проводили зольгель
методом из пленкообразующих растворов
(ПОР) на основе тетраэтоксисилана (ТЭОС) с добавлением
ортофосфорной кислоты на подложках
кремния и стекла методами центрифугирования
(скорость вращения центрифуги 4000 об/мин) и
вытягивания (скорость <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: