Физико-химические процессы при формировании тонких пленок в системе Р[2]O[5]-SiO[2]

пленки золь-гель методы синтез тонкие пленки физико-химические процессы

Pd-катализируемое арилирование акрилонитрила в условиях микроволнового излучения, Оценка неоднородности резин с применением сканирующей атомно-силовой микроскопии, ...

В.В. Козик, Т.С. Петровская*, Л.П. Борило ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК В СИСТЕМЕ P2O5 – SiO2 (Томский государственный университет, <...> *Томский политехнический университет) e-mail: pts@tpu.ru Золь-гель методом синтезированы тонкие пленки в системе SiO2 – P2O5. <...> Рассчитаны кинетические параметры и проведен сравнительный анализ процессов синтеза SiO2 в тонкой пленке и в объемной фазе. <...> Ключевые слова: золь-гель метод синтеза, пленки SiO2 – P2O5, кинетические параметры Структурно-энергетические особенности нанодисперсных систем, проявляющиеся в особенностях свойств получаемых наноматериалов, обусловили возникновение и бурное развитие новой отрасли – технологии нанодисперсных систем и материалов [1-2]. <...> Золь-гель технология часто используется при получении тонких пленок для электронной техники, светотехнической про120 мышленности, других продуктов. <...> Система SiO2 – P2O5 заслуживает внимания тем, что ее компоненты и бинарные смеси, близкие к ним по составу, образуют стекла, представляющие большой интерес, как в научном, так и практическом плане. <...> Как бинарные, так и поликомпонентные силикофосфатные стекла традиционно используются при получении оптических сред, а в последние десятилетия и в других областях, включая биомедицину. <...> Получение силикофосфатных стекол традиционным сплавлением сырьевых материалов – чрезвычайно трудоемкий и трудно управляемый процесс, что имеет следствием неопределенность состава стекла и удорожание продукта. <...> 8 Целью настоящей работы является получение тонких пленок в системе SiO2 – P2O5 с содержанием оксида фосфора от 0 до 30 %, а также исследование физико-химических процессов при их формировании. <...> Синтез тонких пленок проводили зольгель методом из пленкообразующих растворов (ПОР) на основе тетраэтоксисилана (ТЭОС) с добавлением ортофосфорной кислоты на подложках кремния и стекла методами центрифугирования (скорость вращения центрифуги 4000 об/мин) и вытягивания (скорость <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт