ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И КАЧЕСТВА ВЫСОКОТОЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ

интерферометр метрология оптическая поверхность крупногабаритная оптика шероховатость волновой фронт спектральная плотность мощности.

ЧИСЛЕННЫЙ МЕТОД РАСЧЕТА СИСТЕМ ПЕРЕМЕННОГО УВЕЛИЧЕНИЯ С ПРОИЗВОЛЬНЫМ ЧИСЛОМ ПОДВИЖНЫХ КОМПОНЕНТОВ, ВОЛОКОННЫЙ СПЕКТРОФЛУОРИМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ОПТИЧЕСКИХ СРЕД, ...

В.Е. Патрикеев, И.Н. Судариков ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И КАЧЕСТВА ВЫСОКОТОЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ Рассмотрены методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей. <...> Приведена современная методика измерения параметров неоднородностей профиля оптических поверхностей различных периодов пространственных частот на основании расчета функции спектральной плотности мощности PSD(vx, vy). <...> Рассмотрены требования, предъявляемые к качеству оптических поверхностей высокоточных деталей в соответствии с данной методикой. <...> Рассмотрена возможность использования интерферометров NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology) и Intellium H2000 (ESDI) для контроля крупногабаритных оптических деталей. <...> E-mail: baryshnikov@bmstu.ru, yanagladysheva@gmail.com, ivj@bmstu.ru, denisov_dg@mail.ru Ключевые слова: интерферометр, метрология, оптическая поверхность, крупногабаритная оптика, шероховатость, волновой фронт, спектральная плотность мощности. <...> В применяемой аппаратуре реализованы различные схемы интерферометрических измерений, обеспечивающие высокоточный контроль профиля поверхностей широкой номенклатуры оптических деталей с погрешностью, достигающей сотых долей длины волны. <...> Вместе с тем ужесточение требований к профилю оптических поверхностей современных высокоточных оптических и оптикоэлектронных систем обусловливает дальнейшее развитие методов интерферометрического контроля. <...> Среднее квадратическое отклонение (СКО) профиля поверхности каждого сегмента должно быть порядка 0,4… <...> Неоднородности профиля поверхности этих пластин могут привести к модуляции лазерного излучения и возможному повреждению оптических элементов. <...> Любой профиль поверхности можно представить в виде ряда Фурье, периоды которого определяют неоднородности профиля поверхности. <...> Такой подход обеспечивает комплексное представление о качестве поверхности, которое описывается спектральной плотностью <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт