ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И КАЧЕСТВА ВЫСОКОТОЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ

интерферометр метрология оптическая поверхность крупногабаритная оптика шероховатость волновой фронт спектральная плотность мощности.

ПОВЫШЕНИЕ ПОМЕХОУСТОЙЧИВОСТИ ЛАЗЕРНЫХ ЛОКАЦИОННЫХ СИСТЕМ ПРИ АВТОМАТИЧЕСКОМ ОБНАРУЖЕНИИ СВЕТОВОЗВРАЩАТЕЛЕЙ, МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ КОМБИНИРОВАННОГО ТЕПЛООБМЕНА И ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ТЕПЛОЗАЩИТНОГО ПОКРЫТИЯ С СИСТЕМОЙ РАДИАЦИОННЫХ ЭКРАНОВ, ...

В.Е. Патрикеев, И.Н. Судариков ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И КАЧЕСТВА ВЫСОКОТОЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ Рассмотрены методы контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей. <...> Приведена современная методика измерения параметров неоднородностей профиля оптических поверхностей различных периодов пространственных частот на основании расчета функции спектральной плотности мощности PSD(vx, vy). <...> Рассмотрены требования, предъявляемые к качеству оптических поверхностей высокоточных деталей в соответствии с данной методикой. <...> Рассмотрена возможность использования интерферометров NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology) и Intellium H2000 (ESDI) для контроля крупногабаритных оптических деталей. <...> E-mail: baryshnikov@bmstu.ru, yanagladysheva@gmail.com, ivj@bmstu.ru, denisov_dg@mail.ru Ключевые слова: интерферометр, метрология, оптическая поверхность, крупногабаритная оптика, шероховатость, волновой фронт, спектральная плотность мощности. <...> В применяемой аппаратуре реализованы различные схемы интерферометрических измерений, обеспечивающие высокоточный контроль профиля поверхностей широкой номенклатуры оптических деталей с погрешностью, достигающей сотых долей длины волны. <...> Вместе с тем ужесточение требований к профилю оптических поверхностей современных высокоточных оптических и оптикоэлектронных систем обусловливает дальнейшее развитие методов интерферометрического контроля. <...> Среднее квадратическое отклонение (СКО) профиля поверхности каждого сегмента должно быть порядка 0,4… <...> Неоднородности профиля поверхности этих пластин могут привести к модуляции лазерного излучения и возможному повреждению оптических элементов. <...> Любой профиль поверхности можно представить в виде ряда Фурье, периоды которого определяют неоднородности профиля поверхности. <...> Такой подход обеспечивает комплексное представление о качестве поверхности, которое описывается спектральной плотностью <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт