Эффективность получения кремния из кварца в газоплазменном аргоновом потоке с добавкой водорода
Представлены результаты теоретического исследования и критерии эффективной реализации плазмохимического метода прямого получения кремния из кварца. Показана возможность производства кремния указанным методом с выходом до 90 %.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Эффективность получения кремния из кварца в газоплазменном аргоновом потоке… <...> УДК 533.92:544.557
Эффективность получения кремния из кварца
в газоплазменном аргоновом потоке
с добавкой водорода
Ю.М. Гришин, Н.П. Козлов, А.С. Скрябин
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Представлены результаты теоретического исследования и критерии эффективной
реализации плазмохимического метода прямого получения кремния из
кварца. <...> Плазмохимический метод получения кремния является одним из
перспективных [1–3]. <...> Метод основан на образовании кремния непосредственно
в процессе высокотемпературного плазменного пиролиза
исходно-твердых частиц кварца и осуществлении газофазного
процесса связывания выделяющегося при этом кислорода водородом
в потоке плазмы инертного газа. <...> При таком варианте реализации
плазмохимического метода отсутствует необходимость предварительного
получения исходных реагентов (как в методах [4]) и не требуется
специального выделения стадий протекающих процессов переработки
(как в методах [5]). <...> Все процессы переработки происходят
в одном газоплазменном потоке несущего инертного газа и естественным
образом разделяются в соответствии с уровнем его температуры. <...> Плазмохимический метод получения кремния в потоке аргоновой
плазмы с добавкой водорода. <...> Процесс преобразования исходно-твердых
частиц кварца в поликристаллический кремний происходит
в потоке плазмы инертного газа (аргона), создаваемым стационарным
электродуговым или индукционным плазмотроном. <...> Для
интенсификации нагрева и испарения мелкодисперсных частиц SiO2
их вводят одновременно с водородом непосредственно в дугу электродугового
плазмотрона или в зону катушки индукционного плазмотрона. <...> Она включает газоразрядный
канал плазмотрона и высокотемпературную часть плазменной
струи, втекающей в газохимический реактор (ГХР) — цилиндрический
канал, присоединенный непосредственно к соплу плазмотрона. <...> Среднемассовая
температура <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: