Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов
Для обеспечения безмасляной откачки вакуумных систем, определяемой многообразием технологических процессов, проводимых в условиях вакуума, в которых играет ведущую роль выбор средств системы откачки, в данной работе проведен анализ основных принципов выбора высоковакуумной системы откачки в зависимости от условий эксплуатации. Приведены основные конструкции современных комбинированных (гибридных) турбомолекулярных вакуумных насосов. В исследуемых комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосах в качестве форвакуумных ступеней в основном устанавливаются молекулярные проточные части. Проведен анализ перспектив развития исследуемых насосов. В качестве альтернативы использования молекулярных ступеней рассматриваются проточные части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса, которые обладают рядом преимуществ по сравнению с молекулярными проточными частями. Проведено исследование течения газа в каналах молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного вакуумного насоса в вязкостном режиме течения с помощью программного комплекса гидрогазодинамики STAR-CCM+. Расчетные данные приведены для всей проточной части молекулярного вакуумного насоса с учетом влияния зазора между статором и ротором насоса.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 621.52
Перспективы развития комбинированных
турбомолекулярных вакуумных насосов
К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
МГТУ им. <...> В исследуемых
комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосах в качестве форвакуумных
ступеней в основном устанавливаются молекулярные проточные части. <...> В качестве альтернативы
использования молекулярных ступеней рассматриваются проточные части
молекулярно-вязкостного вакуумного насоса, которые обладают рядом преимуществ
по сравнению с молекулярными проточными частями. <...> Проведено исследование течения газа в каналах молекулярной ступени комбинированного
турбомолекулярного вакуумного насоса в вязкостном режиме течения с
помощью программного комплекса гидрогазодинамики STAR-CCM+. <...> Ключевые слова: молекулярный вакуумный насос, молекулярно-вязкостный вакуумный
насос, вакуум, вязкостный режим течения, течение газа, винтовой канал,
геометрические параметры. <...> В качестве основных параметров сравнения вакуумных насосов
(ВН) можно выделить: <...> 1) откачные параметры (быстрота действия, предельно остаточное
давление, диапазон рабочих давлений) вакуумного насоса;
1 <...> Важнейшими параметрами ВС, которые приходится определять
при практическом использовании вакуумной техники, являются давление
и скорость откачки газа из вакуумной камеры, а также предельное
остаточное давление насоса. <...> Но ограничиться только этими
параметрами невозможно, следует учесть также возможность загрязнения
рабочей среды парами углеводородов или другими веществами,
энергетические затраты, селективность откачки, необходимость
регенерации и предварительной откачки, т. е. наличие форвакуумной
системы, и многое другое. <...> Анализ рынка выявляет основные ВН, которые используются для
получения высокого вакуума в откачиваемой системе:
• турбомолекулярные вакуумные насосы (ТМН), в том числе
комбинированные турбомолекулярные вакуумные насосы;
• криосорбционные вакуумные насосы;
• электрофизические <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: