Методика расчета откачной характеристики кинетического высоковакуумного насоса
В статье представлен подход к расчету откачной характеристики кинетического вакуумного насоса для молекулярного режима течения газа. Расчет основывается на основных допущениях для молекулярно-кинетической теории газов: распределение молекул по скоростям теплового движения описывается распределением Максвелла, взаимодействие между молекулами газа отсутствует, взаимодействие между поверхностью твердого тела и молекулами газа описывается диффузным законом отражения, коэффициент аккомодации равен единице. Использование методов прямого статистического моделирования для расчета откачных параметров элементов проточных частей и аналитические зависимости, связывающие их совместную работу, позволили значительно сократить время расчета, не снижая его точности и не искажая физики процесса откачки. Представленные математические зависимости позволяют проводить расчет существующих кинетических высоковакуумных насосов (турбомолекулярных, молекулярных и комбинированных турбомолекулярных с молекулярными ступенями) с учетом влияния всасывающего патрубка и перетеканий в проточных частях насосов.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 81.29.14
Методика расчета откачной характеристики
кинетического высоковакуумного насоса
К.Е. Демихов, А.М. Макаров, Н.К. Никулин, Е.В. Cвичкарь
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
В статье представлен подход к расчету откачной характеристики кинетического
вакуумного насоса для молекулярного режима течения газа. <...> Расчет основывается
на основных допущениях для молекулярно-кинетической теории газов: распределение
молекул по скоростям теплового движения описывается распределением
Максвелла, взаимодействие между молекулами газа отсутствует, взаимодействие
между поверхностью твердого тела и молекулами газа описывается
диффузным законом отражения, коэффициент аккомодации равен единице. <...> Использование методов прямого статистического моделирования для расчета откачных
параметров элементов проточных частей и аналитические зависимости,
связывающие их совместную работу, позволили значительно сократить время расчета,
не снижая его точности и не искажая физики процесса откачки. <...> Представленные
математические зависимости позволяют проводить расчет существующих
кинетических высоковакуумных насосов (турбомолекулярных, молекулярных и комбинированных
турбомолекулярных с молекулярными ступенями) с учетом влияния
всасывающего патрубка и перетеканий в проточных частях насосов. <...> К кинетическим вакуумным насосам относятся турбомолекулярные
(ТМН), молекулярные (МВН) и комбинированные турбомолекулярные
с молекулярной ступенью вакуумные насосы [1]. <...> По своему
принципу действия эти насосы эффективно работают в области молекулярного
режима течения газа. <...> В области вязкостного режима течения
газа откачной эффект этих насосов пренебрежимо мал [25],
например, для ТМН-500 максимальное отношение давлений по азоту
в молекулярном режиме течения газа более 107, а в вязкостном —
около 3. <...> (1)
где N — число молекул газа, откачиваемых насосом; N1 — число молекул
газа, попадающих на входное сечение проточной <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: