Оптическая система интерферометра для контроля формы выпуклых сферических поверхностей большого диаметра на базе вогнутого сферического зеркала и зеркала Манжена
Предложена новая оптическая система лазерного интерферометра для бесконтактного контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей без снятия с планшайбы станка. Рабочий волновой фронт формируется объективом, состоящим из стационарного сферического зеркала диаметром 1 400 мм и шести сменных зеркал Манжена, диаметры которых лежат в диапазоне значений 20…150 мм. Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе лучей не превышает 0,04 длины волны He–Ne-лазера. Эталонный волновой фронт образуется при отражении светового пучка от вогнутой сферической поверхности зеркала Манжена.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Оптическая система интерферометра для контроля формы выпуклых сферических… <...> УДК 531.715.1
Оптическая система интерферометра для контроля
формы выпуклых сферических поверхностей
большого диаметра на базе вогнутого
сферического зеркала и зеркала Манжена
Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В. Рожков
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Предложена новая оптическая система лазерного интерферометра для бесконтактного
контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей
без снятия с планшайбы станка. <...> Рабочий волновой фронт формируется объективом,
состоящим из стационарного сферического зеркала диаметром 1 400 мм
и шести сменных зеркал Манжена, диаметры которых лежат в диапазоне значений
20… <...> Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе
лучей не превышает 0,04 длины волны He–Ne-лазера. <...> Эталонный волновой фронт
образуется при отражении светового пучка от вогнутой сферической поверхности
зеркала Манжена. <...> В работе [1] предложена оптическая система интерферометра,
предназначенного для контроля формы выпуклых сферических поверхностей
в процессе их производства. <...> Это обеспечивает бесконтактный
контроль формы крупногабаритных выпуклых сферических
поверхностей оптических деталей без их снятия с планшайбы
станка. <...> Эксплуатационным недостатком предложенного интерферометра
является значительное экранирование центральной зоны контролируемой
поверхности элементами осветительно-приемной части интерферометра. <...> Цель данной работы — разработка новой оптической системы
интерферометра для бесконтактного контроля формы выпуклых сферических
поверхностей в процессе их производства. <...> Новый интерферометр
позволяет значительно расширить диапазон типоразмеров
контролируемых за один прием поверхностей по сравнению с диапа1 <...> В новом интерферометре значительно
уменьшена неконтролируемая
зона за счет выноса осветительно-регистрирующей
части интерферометра
из хода лучей рабочего <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: