Использование пироэлектрического приемника для изучения процесса синтеза пленок нитрида углерода методом импульсного лазерного осаждения
Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). <...> Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. <...> Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. <...> Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN. <...> Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). <...> Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. <...> Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. <...> Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN. <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: