Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом плазмохимического травления для формирования точечных эталонных изображений

дифракция оптический элемент дифракционная решетка профиль микрорельефа глубина канавок оптическое стекло плазмохимическое травление маска селективность травления режимы травления дифракционная эффективность

Разработка алгоритма наведения запускаемого объекта на подвижную мишень, О влиянии металлических экранов на поле векторного потенциала, ...

УДК 535.421: 681.7.026.53 Технология изготовления дифракционных оптических элементов методом плазмохимического травления для формирования точечных эталонных изображений С.Б. Одиноков, Г.Р. Сагателян, А.Б. Соломашенко, Е.А. Дроздова МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Рассмотрен вариант конструкции дифракционных оптических элементов (ДОЭ), работающих на пропускание в составе оптических систем во втором порядке дифракции. <...> Подтверждены возможности изготовления ДОЭ и голограммных оптических элементов ( ГОЭ) с применением установки плазмохимического травления (ПХТ) Caroline 15 PE. <...> Определены оптимальные режимы ПХТ для ДОЭ из щелочного стекла. <...> Установлено, что максимальная глубина рельефа ДОЭ и ГОЭ соответствует максимальной селективности травления стекла относительно материала маски. <...> При толщине хромовой маски 100 нм достигается глубина микрорельефа до 1,4 мкм, что обеспечивает повышение дифракционной эффективности ДОЭ и ГОЭ. <...> Относительная интенсивность света во втором порядке дифракции может составлять 30 %, что позволит создавать новые изделия микрооптики. <...> Ключевые слова: дифракция, оптический элемент, дифракционная решетка, профиль микрорельефа, глубина канавок, оптическое стекло, плазмохимическое травление, маска, селективность травления, режимы травления, дифракционная эффективность. <...> Наиболее эффективным способом решения проблемы нерасстраиваемости такого эталона является применение ДОЭ, работающего на пропускание света и содержащего несколько дифракционных решеток — по одной на каждую формируемую точку (рис. <...> Три дифракционные решетки расположены одна над другой так, что их периоды различны и дифрагированные лучи пересекаются в одной точке в центре зрачка. <...> В данной работе на основе предварительных исследований [4] предлагается применять преломляющие (работающие на пропускание) голограммные оптические элементы (ГОЭ) и ДОЭ из щелочного стекла, идентичного по своим оптическим характеристикам <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт