Определение спектрально-энергетических порогов лазерной абляции под действием ультракоротких лазерных импульсов в вакууме
С использованием интерференционного микроскопа, выполненного по схеме Линника, экспериментально определены пороги лазерной абляции тонкопленочных металлических и полимерных мишеней при воздействии ультракоротких (45 фс) лазерных импульсов (266, 400, 800 нм). В качестве мишеней использовались микротомные срезы полимеров толщиной 5…7 мкм и металлические тонкие пленки, полученные методом магнетронного распыления. Используемая методика определения порогов, основанная на регистрации изменения диаметра кратера в зависимости от энергии импульса падающего излучения, позволяет снизить требования к оптическим свойствам поверхности исследуемого образца по сравнению c методикой, основанной на регистрации изменения глубины или объема кратера.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 539.1.043;53.082.54;621.373.8
Определение спектрально-энергетических порогов
лазерной абляции под действием ультракоротких
лазерных импульсов в вакууме
Е.Ю. Локтионов, Ю.С. Протасов, Ю.Ю. Протасов
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
С использованием интерференционного микроскопа, выполненного по схеме Линника,
экспериментально определены пороги лазерной абляции тонкопленочных
металлических и полимерных мишеней при воздействии ультракоротких (45 фс)
лазерных импульсов (266, 400, 800 нм). <...> В качестве мишеней использовались микротомные
срезы полимеров толщиной 5…7 мкм и металлические тонкие пленки,
полученные методом магнетронного распыления. <...> Используемая методика определения
порогов, основанная на регистрации изменения диаметра кратера в зависимости
от энергии импульса падающего излучения, позволяет снизить требования
к оптическим свойствам поверхности исследуемого образца по сравнению c методикой,
основанной на регистрации изменения глубины или объема кратера. <...> Ключевые слова: лазерная абляция, спектрально-энергетические пороги, интерференционный
микроскоп, ультракороткие лазерные импульсы, металлические и
полимерные мишени. <...> Лазерная абляция (удаление вещества с поверхности
облучаемой мишени) происходит в результате конкурирующих оптотеплофизических,
газо- и плазмодинамических процессов с соответствующими
им скоростями (толщиной удаляемого слоя вещества в
единицу времени или при однократном импульсе воздействия). <...> Е.Ю. Локтионов, Ю.С. Протасов, Ю.Ю. Протасов
Воздействие лазерного излучения на твердотельные мишени в
средах конечного давления ограничено по максимальной плотности
мощности, определяемой порогом оптического пробоя в данной среде
и величиной энергии ионизации [9]. <...> Порог оптического пробоя
буферной среды, как правило (при давлении p > 103 Па), ниже порога
абляции вещества конденсированной мишени, поэтому высокие
плотности мощности воздействующего излучения на поверхности <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: