Вечнозеленый полупроводник
Рассмотрены работы, посвященные исследованию свойств кремния и карбида кремния и разработке полупроводниковых приборов на их основе.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Вечнозеленый
полупроводник
О чем эта статья
Промышленный интерес к полупроводникам
возник после обнаружения <...> Взоры исследователей
обратились к кремнию и карбиду
кремния (SiC). <...> В последующие 1015 лет было выполнено много работ,
посвященных исследованию
свойств SiC и разработке полупроводниковых
приборов на его основе. <...> Чистые кристаллы SiC (благодаря
ширине запрещенной зоны
> 3 эВ) бесцветны. <...> Первые кристаллы SiC обнаружил
Генри Муассан (тот самый, который
в 1886 году открыл фтор) при исследовании метеоритов в каньоне
Дьявола (Diablo Canyon) в Аризонской пустыне. <...> Оказалось, что образцы
SiC могут иметь различную кристаллическую
структуру кубическую (3СSiC), гексагональную (2H-SiC, 4H-SiС, 6H-SiC и др. nН-SiC), ромбоэдрическую (15 R, 21 R и др.) (рис. <...> Первые выращенные
кристаллы SiC часто представляли собой
сростки кристаллов различных
политипов. <...> Таким образом, два важнейших для
полупроводниковой электроники явления
электролюминесценция и выпрямительные
свойства pn-структур
были впервые обнаружены на кристаллах
SiC. <...> Было установлено, что карбид кремния
представляет собой полупроводник
с непрямой зонной структурой. <...> Это
означает, что вероятность излучательной
рекомбинации в нем невелика. <...> Эффективность (квантовый выход) SiCсветодиодов
будет на три-четыре порядка
меньше, чем в прямозонных полупроводниках. <...> При этом ширина запрещенной
зоны зависит от политипа и
изменяется от 2,39 эВ для 3С-SiC до 3,3 эВ для 2Н-SiC. <...> Большая
энергия связи атомов в SiC приводила
к высоким температурам роста
(> 2000о управляемо получать эпитаксиальные
слои SiC как n- , так и pтипа проводимости, то есть SiC pn-структуры. <...> В 1970 году Ю.А.Водаков и Е.И.Мохов для выращивания эпитаксиальных
слоев SiC предложили сублимационный
сандвич-метод слои на подложке
росли при ее сближении с источником
паров. <...> Выяснилось, что добавление
некоторых примесей либо изменение
соотношения Si/C в зоне роста
может привести к тому, что политип
растущего эпитаксиального слоя
будет иным, чем у подложки <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: