ТЕПЛОВЫЕ ПРИЕМНИКИ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ТЕПЛОВИЗИОННЫХ МАТРИЦ. Ч. II. НОВЫЕ, НЕТЕПЛОИЗОЛИРОВАННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
Разработан новый подход к построению теплового элемента многоэлементной матрицы на базе тонких пироэлектрических плёнок: элемент не теплоизолируется от подложки, не отделяется зазором от её поверхности и функционирует за счёт накопления заряда, генерируемого ИК-излучением, за время кадра. Описан новый принцип высокоскоростной модуляции излучения. Представлены экспериментальные исследования поведения пироэлектрического коэффициента в плёнках ниобата бария-стронция (BaxSr1 xNb2O6), который достигает значений до (1–2) · 103 Кл/м2. Показано, что чувствительные элементы размером 12 × 12 мкм обладают в режиме накопления заряда удельной обнаружительной способностью выше 10^9 см · Гц0,5 · Вт-1 .
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
52, 1 ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.38.3; 53.082.62 ТЕПЛОВЫЕ ПРИ ЕМНИКИ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ТЕПЛОВИЗИОННЫХ МАТРИЦ. <...> Иванов, Э. Г. Косцов Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: kostsov@iae.nsk.su Разработан новый подход к построению теплового элемента многоэлементной матрицы на базе тонких пироэлектрических плёнок: элемент не теплоизолируется от подложки, не отделяется зазором от её поверхности и функционирует за счёт накопления заряда, генерируемого ИК-излучением, за время кадра. <...> Представлены экспериментальные исследования поведения пироэлектрического коэффициента в плёнках ниобата бария-стронция (BaxSr1xNb2O6), который достигает значений до (1–2) · 103 Кл/м2. <...> Показано, что чувствительные элементы размером 12 Ч 12 мкм обладают в режиме накопления заряда удельной обнаружительной способностью выше 109 см · Гц0,5 · Вт1. <...> Ключевые слова: инфракрасная техника, тепловые приёмники излучения, пироэлектрические плёнки, мегапиксельная матрица, пироэлектрический заряд, температуропроводность. <...> В последние годы достигнут большой прогресс в изготовлении в промышленных масштабах многоэлементных неохлаждаемых матриц тепловых приёмников на базе теплоизолированных чувствительных элементов, в первую очередь резистивных микроболометров. <...> В настоящее время величина Rт достигает значений до 108 К/Вт, что приближается к предельному значению, ограниченному радиационным энергообменом поверхности приёмника с подложкой. <...> Увеличение числа таких конструкций в матрице до 106 и более сопровождается серьёзными технологическими проблемами, связанными с необходимостью как соблюдения высокой С. Д. Иванов, Э. Г. Косцов 105 однородности параметров элементов, постоянного поддержания равновесия механических напряжений между слоями в каждом элементе, так и исключения деформаций микробалок. <...> К настоящему времени практически достигнуты предельные <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: