Микросхема КМОП-фотоприемника видимого диапазона формата 12801024 с размером ячейки 13х13 мкм
Разработана, изготовлена и исследована матричная микросхема фотоприемника, предназначенная для приема оптического сигнала в диапазоне длин волн 0,4—1,0 мкм, его преобразования в электрический сигнал и вывода в аналоговом виде на 1, 2, 4, 8 или 16 выходов. Основные параметры: зарядовая емкость до 200 тыс. электронов; частота кадров максимального формата более 600 Гц; интегральная чувствительность до 1000 В/(лкс).
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
76
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
УДК 621.383
Микросхема КМОП-фотоприемника видимого диапазона
формата 12801024 с размером ячейки 1313 мкм <...> Д. В. Бородин, Ю. В. Осипов, В. В. Васильев
Разработана, изготовлена и исследована матричная микросхема фотоприемника, предназначенная
для приема оптического сигнала в диапазоне длин волн 0,4—1,0 мкм, его преобразования
в электрический сигнал и вывода в аналоговом виде на 1, 2, 4, 8 или 16 выходов. <...> Основные
параметры: зарядовая емкость до 200 тыс. электронов; частота кадров максимального формата
более 600 Гц; интегральная чувствительность до 1000 В/(лк
с). <...> Однако для таких приборов требуются многовыводные
(100 и более выводов) корпуса, а для
размещения АЦП в столбцах приходится использовать
технологию с нормами проектирования не
более 0,18 мкм и 6 слоями металлизации [7, 8]. <...> В то же время фотоячейки размером более
9—10 мкм могут быть реализованы по КМОПтехнологиям
уровня 0,35—0,6 мкм с 3—4 слоями
металлизации, что делает такие разработки более
экономически доступными [9]. <...> Кроме того, разрядность
внешнего АЦП не ограничивается характерными
для столбцовых АЦП 10—12 битами, а
уменьшение рассеиваемой в кристалле мощности
способствует улучшению фотоэлектрических параметров
прибора. <...> Поэтому разумно создание
матричного КМОП-фотоприемника с аналоговым
выходом и ячейкой большого размера. <...> Хотя такая
микросхема не столь удобна для массового использования,
однако ряд параметров, например,
достаточно большая зарядовая емкость ячейки и
чувствительность, могут обеспечить ей свою область
применения. <...> Вопросам разработки и создания
такого матричного КМОП-фотоприемника и
посвящена данная работа. <...> Функциональная схема матричного КМОП-фотоприемника и его фотография (вставка). <...> Ячейка фотоприемника разработана по пятитранзисторной
схеме, содержащей фотодиод ФД
с собственной емкостью Сф, два транзистора 1 и 3
сброса, транзистор 2 и емкость Св выборки, буферный
4 и ключевой 5 транзисторы коммутации
на столбцовую выходную <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: