ПРЯМАЯ ЛАЗЕРНАЯ ЗАПИСЬ В ПЛЕ¨НКАХ ХРОМА ПОЛУТОНОВЫХ МИКРОИЗОБРАЖЕНИЙ С БОЛЬШИМ ДИНАМИЧЕСКИМ ДИАПАЗОНОМ
Разработан и исследован метод прямой лазерной термохимической записи в тонких плёнках хрома полутоновых микроизображений. Метод включает в себя экспонирование плёнки хрома сфокусированным лазерным пучком с изменяющейся мощностью и проявку в селективном травителе. Получен диапазон изменения пропускания более чем в 100 раз. Нелинейность зависимости пропускания плёнки хрома от мощности экспонирующего пучка устраняется программной коррекций. Экспериментально изготовлены образцы растра (64×64, шаг 176 мкм) апертур (36 мкм) с полутоновым гауссовым пропусканием. Данный растр применён в модифицированном датчике Шэка — Гартмана.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Разработан и исследован метод прямой лазерной термохимической записи в тонких плёнках хрома полутоновых микроизображений. <...> Метод включает в себя экспонирование плёнки хрома сфокусированным лазерным пучком с изменяющейся мощностью и проявку в селективном травителе. <...> Получен диапазон изменения пропускания более чем в 100 раз. <...> Нелинейность зависимости пропускания плёнки хрома от мощности экспонирующего пучка устраняется программной коррекций. <...> Экспериментально изготовлены образцы растра (6464, шаг 176 мкм) апертур (36 мкм) с полутоновым гауссовым пропусканием. <...> Данный растр применён в модифицированном датчике Шэка — Гартмана. <...> Разработан и исследован метод прямой лазерной термохимической записи в тонких плёнках хрома полутоновых микроизображений. <...> Метод включает в себя экспонирование плёнки хрома сфокусированным лазерным пучком с изменяющейся мощностью и проявку в селективном травителе. <...> Получен диапазон изменения пропускания более чем в 100 раз. <...> Нелинейность зависимости пропускания плёнки хрома от мощности экспонирующего пучка устраняется программной коррекций. <...> Экспериментально изготовлены образцы растра (6464, шаг 176 мкм) апертур (36 мкм) с полутоновым гауссовым пропусканием. <...> Данный растр применён в модифицированном датчике Шэка — Гартмана. <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: