ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ МЕТОД ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОГЛАСОВАННОЙ МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ СЕНСОРА НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА НАРУШЕНИЯ ПОЛНОГО ВНУТРЕННЕГО ОТРАЖЕНИЯ
Представлен экспериментальный метод изготовления сенсора и оптимизации его характеристик на основе металл-диэлектрической структуры (Al + ZnS). Исследован коэффициент отражения света (p-поляризация) от слоя алюминия в зависимости от его толщины при разных углах падения на длине волны 532 нм. На основании расчётов, которые качественно совпадают с экспериментальными результатами, изготовлена структура, состоящая из согласованных слоёв алюминия и сульфида цинка и имеющая повышенное угловое разрешение по сравнению с алюминиевой плёнкой без диэлектрического покрытия. Оценочный предел детектирования сенсора на основе данной структуры при угловых измерениях составил 2,6 · 105 RIU (единица коэффициента преломления).
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Представлен экспериментальный метод изготовления сенсора и оптимизации его характеристик на основе металл-диэлектрической структуры (Al + ZnS). <...> Исследован коэффициент отражения света (p-поляризация) от слоя алюминия в зависимости от его толщины при разных углах падения на длине волны 532 нм. <...> На основании расчётов, которые качественно совпадают с экспериментальными результатами, изготовлена структура, состоящая из согласованных слоёв алюминия и сульфида цинка и имеющая повышенное угловое разрешение по сравнению с алюминиевой плёнкой без диэлектрического покрытия. <...> Оценочный предел детектирования сенсора на основе данной структуры при угловых измерениях составил 2,6 · 105 RIU (единица коэффициента преломления). <...> Представлен экспериментальный метод изготовления сенсора и оптимизации его характеристик на основе металл-диэлектрической структуры (Al + ZnS). <...> Исследован коэффициент отражения света (p-поляризация) от слоя алюминия в зависимости от его толщины при разных углах падения на длине волны 532 нм. <...> На основании расчётов, которые качественно совпадают с экспериментальными результатами, изготовлена структура, состоящая из согласованных слоёв алюминия и сульфида цинка и имеющая повышенное угловое разрешение по сравнению с алюминиевой плёнкой без диэлектрического покрытия. <...> Оценочный предел детектирования сенсора на основе данной структуры при угловых измерениях составил 2,6 · 105 RIU (единица коэффициента преломления). <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: