СТРУКТУРА ПЛАТИНОВЫХ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD) с использованием бис(ацетилацетоната) платины(II) (Pt(acac)2) впервые получены платиновые покрытия на электрических полюсах катодов и анодов электрокардиостимуляторов. Процессы осаждения проводили при пониженном давлении в присутствии кислорода. Фазовый и элементный состав, структуру и морфологию покрытий исследовали методами рент-геновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии, сканирующей элек-тронной микроскопии и энергодисперсионной спектроскопии. Платиновые покрытия со столбчатой структурой получены в интервале температур 280—340 °C. Повышение температуры осаждения приводит к изменению строения покрытий и уменьшению их толщины. Методом цикловольтамперометрии оценены значения удельной емкости пла-тиновых покрытий на катодах и анодах, максимальные величины которых составили 426 и 1160 мКл/см2 соответственно.

• Ю .В.
• Морозова Н.Б.
• Гельфонд Н.В.
• Доровских С.И.
• исюк В.В.К.
• Кальный Д.Б.
• Максимовский Е.А.
• Трубин С.В.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Физико-математические науки
• Естественные науки