Влияние легирования на структуру и особенности трибологического поведения вакуумных алмазоподобных покрытий

алмазоподобные покрытия аморфный углерод вакуумное осаждение PAPVD PACVD реактивное магнетронное распыление легирование рентгеновская дифракция нанокомпозитная структура фазовый состав трибологические свойства.

Построение феноменологических моделей фазовых переходов методами эквивариантной теории катастроф, Распространение электромагнитных волн в средах со структурными дефектами, ...

2 Влияние легирования на структуру и особенности трибологического поведения вакуумных алмазоподобных покрытий <...> Представлены результаты исследования атомно-кристаллической структуры, фазового и химического составов алмазоподобных покрытий, полученных методами плазмохимического осаждения (a-C:H:Si и a-C:H:Si:Mо) и магнетронного реактивного распыления (a-C:H:Cr). <...> Для покрытий a-C:H:Si:Mо обнаружено образование ультрадисперсных включений, имеющих состав карбидных или силицидных фаз молибдена. <...> В покрытиях a-C:H:Cr при напылении в смеси ацетилен–азот установлено формирование нанокомпозитной структуры на основе хрома, а также наличие карбидных и нитридных фаз. <...> Трибологические испытания показали, что покрытия, содержащие кремний и кремний–молибден, имеют высокий коэффициент трения и низкую фрикционно-усталостную долговечность, тогда как покрытия, содержащие хром, имеют высокие механические и трибологические характеристики, что делает их перспективными для работы при больших контактных давлениях. <...> Ключевые слова: алмазоподобные покрытия, аморфный углерод, вакуумное осаждение, PAPVD, PACVD, реактивное магнетронное распыление, легирование, рентгеновская дифракция, нанокомпозитная структура, фазовый состав, трибологические свойства. <...> . Алмазоподобные углеродные покрытия, получаемые методами вакуумного ионно-плазменного осаждения и с помощью химических газотранспортных реакций, характеризуются высокой износостойкостью и низким коэффициентом трения [3, 4], но из-за особенностей технологий их нанесения в большинстве случаев имеют небольшую толщину, что не гарантирует их долговечность. <...> Кроме того, современные технологии, основанные на использовании распыляемых мишеней различного состава и активных атмосфер, дают возможность получать покрытия, легированные химическими соединениями (оксидами алюминия и кремния, карбидами переходных металлов и т. д.), и покрытия с модулированной слоистой и/или сложной <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт