Эволюция МЭМС-продуктов компании Analog Devices и современные инерциальные измерительные модули iSensor

МЭМС-датчик

Заслуженный успех выставки «ЭкспоЭлектроника», Многоканальная модульная электронная нагрузка с функцией рекуперации серии EA-ELR 9000 6U MCh, ...

24 компоненты датчики Эволюция МЭМС-продуктов компании Analog Devices и современные инерциальные измерительные модули iSensor Юрий ПЕТРОПАВЛОВСКИЙ В статье представлен обзор МЭМС-датчиков компании Analog Devices, эволюционировавших от самых первых продуктов для систем автомобильной безопасности до современного поколения инерциальных модулей iSensor. <...> Введение Разработку технологий производства интегральных датчиков ускорения на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) компания Analog Devices (ADI) начала в конце 80-х годов прошлого века, для чего было сформировано отделение MEMS Division of Analog Devices в городе Уилмингтон (штат Массачусетс). <...> Датчики ускорения этого типа, в отличие от объемного травления, получаются методом поверхностной микрообработки, поэтому они позволяют детектировать ускорение по двум осям на поверхности. <...> Первый интегральный датчик ускорения ADXL50 (цифра 50 означает диапазон измеряемых ускорений 50 g), чей прототип был продемонстрирован компанией в 1989 году, представлял собой конденсаторную систему, обкладки которой сформированы на подложке кристалла интегральной микросхемы в едином технологическом процессе с компонентами самой микросхемы. <...> 1 показана структура кристалла микросхемы ADXL50, размеры кристалла 33 мм, размеры датчика ускорения в центре кристалла 500625 мкм, микросхема выполнена в металлическом корпусе ТО-100, ось чувствительности лежит в плоскости, параллельной основанию микросхемы в направлении ключа (рис. <...> Микросхема ADXL50 без крышки одной ячейки датчика (всего 42 ячейки), при возникновении ускорения в направлении оси чувствительности подвижная инерциальная масса датчика, связанная с подвижными обкладками конденсаторной системы, отклоняется от исходного положения, в результате чего изменяются значения емкостей CS1, CS2. <...> Массовое производство акселерометра ADXL50 началось в 1991 году, его широко применяли в системах управления подушками безопасности автомобилей, защищающими водителя при авариях <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт