Балансировка кремниевых датчиков угловой скорости в процессе изготовления

датчик угловой скорости; кольцевой микрогироскоп; балансировка; демпфирование; чувствительный элемент.

Влияние нестационарных воздействий на концентрационную микронеоднородность при выращивании кристаллов методом вертикальной направленной кристаллизации, Оценка и выбор параметров инерциальной навигационной системы для работы в составе многоантенной системы, ...

МИКРО- И НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА MICRO- AND NANOSYSTEM TECHNOLOGY УДК 681.586 Балансировка кремниевых датчиков угловой скорости в процессе изготовления <...> С.А. Анчутин, А.С. Тимошенков Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Balancing of Silicon Speed Sensors during Manufacturing Process S.P. <...> Timoshenkov National Research University of Electronic Technology Исследованы возможности корректировки параметров микроэлектромеханических кольцевых датчиков угловой скорости с помощью балансировки, осуществляемой изменением массы отдельных сегментов кольца, и оптимизации внутрикорпусного давления в процессе изготовления таких приборов. <...> Предложен алгоритм реализации балансировки посредством изменения массы сегментов кольца, позволяющий уменьшить разность резонансных частот колебаний кольца в различных направлениях. <...> Keywords: Sensor Angular rate, ring gyroscope, balancing, damping, sensitive element (SE) Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Бритков О.М., Анчутин С.А., Тимошенков А.С., 2015 58 Известия вузов. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 1 2015 Балансировка кремниевых датчиков угловой скорости... <...> Все это достигается благодаря использованию технологий микросистемной техники, адаптированных к их изготовлению. <...> ДУС (микрогироскоп) состоит из двух функциональных частей с различными принципами функционирования: электромеханическая (чувствительный элемент) и электронная (схема формирования и измерения полезного сигнала). <...> В настоящей работе исследуется возможность контроля и корректировки параметров ДУС в процессе их изготовления и показана необходимость введения балансировки перед герметизацией чувствительного элемента ДУС. <...> Как правило, современные микрогироскопы представляют собой приборы, в которых используется энергия вынужденных (первичных) колебаний инерционной массы, являющейся резонатором при наличии переменной угловой скорости. <...> Преобразователь угловой скорости кольцевого типа представляет собой систему, в основе которой находится кольцеобразное тело (кольцо, цилиндр, конус, тор и т.п.) <...> Упрощенная схема форм <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт