РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Найти!
Известия высших учебных заведений. Электроника/2015/№ 5/
В наличии за
140 руб.
Купить
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:

Тензорезистивные МЭМС-преобразователи давления и модули на их основе

Представлены результаты разработки группы тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по технологии объемной микрообработки кремния. Рассмотрены одноканальные преобразователи абсолютного и избыточного давления на основе сложнопрофилированных мембран со встроенной защитой от перегрузки. Показаны их преимущества по сравнению с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром. Описан многоканальный сканер давления для измерения давления на поверхности моделей летательных аппаратов при проведении испытаний в аэродинамической трубе. Приведены конструктивно-технологические принципы создания многоканальных модулей для измерения газодинамических потоков. Представлены матрицы чувствительных элементов давления и модули на их основе для тактильных датчиков, а также конструкция кремниевой матрицы чувствительных элементов давления и модулей на их основе, предназначенных для использования в составе установки тактильной диагностики внутренних органов при проведении операций малоинвазивной хирургии.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 681.586 Тензорезистивные МЭМС-преобразователи давления и модули на их основе <...> Суханов1,2 1Национальный исследовательский университет «МИЭТ» 2НПК «Технологический центр» (г. Москва) 3Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (г. Москва) Tensoresistive MEMS Pressure Transducers and Modules Based on Them D.V. <...> Sukhanov1,2 1National Research University of Electronic Technology, Moscow 2SMC «Technological Centre», Moscow 3INME RAS, Moscow Представлены результаты разработки группы тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по технологии объемной микрообработки кремния. <...> Рассмотрены одноканальные преобразователи абсолютного и избыточного давления на основе сложнопрофилированных мембран со встроенной защитой от перегрузки. <...> Показаны их преимущества по сравнению с преобразователями давления, созданными на основе кремниевых плоских мембран и мембран с жестким центром. <...> Описан многоканальный сканер давления для измерения давления на поверхности моделей летательных аппаратов при проведении испытаний в аэродинамической трубе. <...> Приведены конструктивно-технологические принципы создания многоканальных модулей для измерения газодинамических потоков. <...> Представлены матрицы чувствительных элементов давления и модули на их основе для тактильных датчиков, а также конструкция кремниевой матрицы чувствительных элементов давления и модулей на их основе, предназначенных для использования в составе установки тактильной диагностики внутренних органов при проведении операций малоинвазивной хирургии. <...> Ключевые слова: многоканальный сканер давления; МЭМС; тактильный датчик; тензорезистивный преобразователь давления. <...> Кристаллы кремниевых интегральных тензопреобразователей давления (ИПД), выпускаемые в НПК «Технологический центр», используются в составе датчиков давления в качестве первичного преобразователя измеряемой механической величины в пропорциональный электрический сигнал – выходное напряжение. <...> На основе кристаллов ИПД создаются преобразователи абсолютного <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

  • Похожие документы из РУАЭСТ
  • |
  • Похожие документы из Руконт

Помощь:

Участники:

© НЦР Руконт 2014