РУАЭСТ (RUAEST)
Облако ключевых слов*
- "чувствительность сенсоров"
- "терморезистор"
- "катеев"
- "кафедра иэмс"
- "зависимость разности"
- "нмст"
- "нагреватель"
- "конструкция сенсора"
- "наклон сенсора"
- "моделирование обдува"
- "катеев максима"
- "тепловые сенсоры"
- "миэт"
- "микромеханическая мембрана"
- "экб миэт"
- "мэмс-"
- "калориметрический принцип"
- "первичные преобразователи"
- "сенсоры расхода"
- "нэмс-технология"
- "сенсор"
- "многослойная мембрана"
- "максимальная чувствительность"
- "расположение сенсоров"
- "результаты моделирования"
- "иэмс"
- "измеритель потока"
- "мембранный тип"
- "преобразователь скорости"
- "дюжев"
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:
Моделирование зависимости выходных характеристик первичного преобразователя датчика потока мембранного типа от его конструктивных параметров
Проведено моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа на основе калориметрического принципа работы. Рассмотрено несколько вариантов конструкции сенсора. Проанализированы результаты численного моделирования различных вариантов конструкции датчика с точки зрения максимальной чувствительности, которые позволяют найти оптимальные конфигурацию и расположение теплового сенсора.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Анализ проблем создания платформонезависимого HDL-описания модуля быстрого преобразования Фурье,
Применение табличных моделей туннельных эффектов для ускорения SPICE-моделирования нанометровых МОП-транзисторов,
...
Резюме по документу**
КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ
BRIEF REPORTS
УДК 681.121.832
Моделирование зависимости выходных характеристик
первичного преобразователя датчика потока
мембранного типа от его конструктивных параметров <...> Н.А. Дюжев, М.А. Королёв, М.В. Катеев, Е.Э. Гусев
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Проведено моделирование первичного преобразователя скорости потока газа
мембранного типа на основе калориметрического принципа работы. <...> Проанализированы результаты численного
моделирования различных вариантов конструкции датчика с точки зрения
максимальной чувствительности, которые позволяют найти оптимальные
конфигурацию и расположение теплового сенсора. <...> Среди широко применяемых микроэлектромеханических систем (МЭМС) отмечается измеритель
потока газов на основе первичного преобразователя, использующего калориметрический
метод. <...> Одна из основных частей первичного преобразователя чувствительный элемент,
представляющий собой мембрану с расположенными на ней двумя датчиками температуры и
находящимся между ними нагревателем. <...> При этом чем
больше разница в показаниях терморезисторов при определенной скорости потока, тем выше
чувствительность прибора. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 6 2015
Краткие сообщения
В работе [1] подробно описан датчик потока подобного типа, разработана математическая
модель прибора и проведено моделирование, которое позволило определить изменение профиля
распределения тепла вдоль мембраны в зависимости от скорости потока, влияние расстояния
между терморезисторами, толщины и материала мембраны на характеристики первичного преобразователя. <...> Проведено сравнение результатов моделирования с экспериментальными данными,
показавшее хорошее совпадение расчетных и экспериментальных значений параметров. <...> Вместе с тем несомненный научный и практический интерес представляет изучение влияния
расположения элементов первичного преобразователя (терморезисторов и нагревателя) относительно
мембраны <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: