Моделирование зависимости выходных характеристик первичного преобразователя датчика потока мембранного типа от его конструктивных параметров

первичный преобразователь скорости; тепловой датчик расхода; терморезистор; МЭМС; моделирование.

Формирование наноразмерных элементов затворов СВЧ-транзисторов методом ионно-лучевой литографии, Уточненная модель низкоомных пленочных резисторов с гребенчатой структурой, ...

КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ BRIEF REPORTS УДК 681.121.832 Моделирование зависимости выходных характеристик первичного преобразователя датчика потока мембранного типа от его конструктивных параметров <...> Н.А. Дюжев, М.А. Королёв, М.В. Катеев, Е.Э. Гусев Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Проведено моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа на основе калориметрического принципа работы. <...> Проанализированы результаты численного моделирования различных вариантов конструкции датчика с точки зрения максимальной чувствительности, которые позволяют найти оптимальные конфигурацию и расположение теплового сенсора. <...> Среди широко применяемых микроэлектромеханических систем (МЭМС) отмечается измеритель потока газов на основе первичного преобразователя, использующего калориметрический метод. <...> Одна из основных частей первичного преобразователя чувствительный элемент, представляющий собой мембрану с расположенными на ней двумя датчиками температуры и находящимся между ними нагревателем. <...> При этом чем больше разница в показаниях терморезисторов при определенной скорости потока, тем выше чувствительность прибора. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 6 2015 Краткие сообщения В работе [1] подробно описан датчик потока подобного типа, разработана математическая модель прибора и проведено моделирование, которое позволило определить изменение профиля распределения тепла вдоль мембраны в зависимости от скорости потока, влияние расстояния между терморезисторами, толщины и материала мембраны на характеристики первичного преобразователя. <...> Проведено сравнение результатов моделирования с экспериментальными данными, показавшее хорошее совпадение расчетных и экспериментальных значений параметров. <...> Вместе с тем несомненный научный и практический интерес представляет изучение влияния расположения элементов первичного преобразователя (терморезисторов и нагревателя) относительно мембраны <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт