Применение модифицированного уравнения Гиббса для задач исследования отказов изделий микросистемной техники

уравнение Гиббса; критерий Гиббса; отказы; микросистемы.

Анализ механизма утечки щелочного металла в стеклокерамических соединениях сапфира с ниобием, Анализ методов разбраковки на основе 3D-рендеринга в технологическом процессе производства изделий микроэлектроники, ...

УДК 681.321 Применение модифицированного уравнения Гиббса для задач исследования отказов изделий микросистемной техники <...> С.П. Тимошенков, В.Н. Горошко, Б.М. Симонов, В.З. Петрова Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Application of Modified Gibbs Equation for Studies on Failures of Microsystem Technology Products S.P. <...> Petrova National Research University of Electronic Technology, Moscow С позиций статистической термодинамики проведен анализ механизмов отказов и процессов химической кинетики, определяющих надежность изделий микросистемной техники. <...> Впервые предпринята попытка использовать модифицированное уравнение Гиббса в форме Семенченко для задач исследования механизмов отказов изделий. <...> Функционирование элементов и компонентов ИС, изделий МСТ (микросистемной техники), включая МЭМС (микроэлектромеханические приборы и системы), зависит, главным образом, от таких необратимых явлений, как электро- и теплопроводность, диффузия, окисление, т.е. определяется неравновесными процессами. <...> Это особенно актуально для таких изделий МСТ, как МЭМС-преобразователи. <...> Рассмотрим эволюцию готового элемента МСТ от состояния «годен» до состояния «не годен». <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 1 2016 Применение модифицированного уравнения Гиббса… скую, тепловую, химическую, электрическую, магнитную или другую природу. <...> Допустим, что имеется один механизм отказа, в частности для торсионов (подвесов) чувствительных элементов микрогироскопов, микроакселерометров, микрозеркал и других изделий МЭМС (и МСТ в целом) характерным является механизм развития микротрещин под воздействием термомеханических напряжений, неизбежно возникающих в процессе функционирования. <...> При идентичности микросостояний компонентов статистика отказов после их испытаний будет сходной. <...> Во многих случаях степень деградации пропорциональна числу активированных частиц [3]. <...> Например, может происходить диссоциация молекул на составляющие их атомы или ионы. <...> Скорость процесса химической диссоциации будет зависеть от числа <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт