РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Найти!
Известия высших учебных заведений. Электроника/2016/№ 2/
В наличии за
140 руб.
Купить
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:

Формирование автоэмиссионных эмиттеров с использованием микроволнового плазмохимического синтеза наноуглеродных структур

Описана технология формирования наноуглеродных эмиттеров для интегральных автоэмиссионных элементов. Определены режимы получения различных углеродных пленочных структур: алмазных, графитовых, графеноподобных. Исследован низкотемпературный метод получения ультрадисперсных алмазов. Показано, что высокие эмиссионные свойства наноалмазографитовых эмиттеров обеспечиваются за счет эффекта самоорганизации алмазных нанокристаллов в графитовой пленке в процессе осаждения пленок из паров этанола при низком давлении с использованием высоконеравновесной СВЧ-плазмы. На основе разработанного метода изготовлены и исследованы экспериментальные образцы интегральных автоэмиссионных диодов с наноалмазографитовыми эмиттерами. Получены следующие параметры интегральных автоэмиссионных диодов: порог эмиссии 2,5 В/мкм, плотность эмиссионного тока 1,75 А/см2. При исследовании эмиттеров лезвийного типа получена наибольшая плотность тока  более 20 А/см2.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
ТЕХНОЛОГИЯ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ MICRO- AND NANOELECTRONICS TECHNOLOGY УДК 621.385.1 Формирование автоэмиссионных эмиттеров с использованием микроволнового плазмохимического синтеза наноуглеродных структур <...> Timoshenkov3 1RAS, Kotel’nikov Institute of Radio Engineering and Electronics 2Molecular Electronics Research Institute, Moscow 3National Research University of Electronic Technology, Moscow Описана технология формирования наноуглеродных эмиттеров для интегральных автоэмиссионных элементов. <...> Определены режимы получения различных углеродных пленочных структур: алмазных, графитовых, графеноподобных. <...> Показано, что высокие эмиссионные свойства наноалмазографитовых эмиттеров обеспечиваются за счет эффекта самоорганизации алмазных нанокристаллов в графитовой пленке в процессе осаждения пленок из паров этанола при низком давлении с использованием высоконеравновесной СВЧ-плазмы. <...> На основе разработанного метода изготовлены и исследованы экспериментальные образцы интегральных автоэмиссионных диодов с наноалмазографитовыми эмиттерами. <...> Получены следующие параметры интегральных автоэмиссионных диодов: порог эмиссии 2,5 В/мкм, плотность эмиссионного тока 1,75 А/см2. <...> При исследовании эмиттеров лезвийного типа получена наибольшая плотность тока более 20 А/см2. <...> Ключевые слова: алмазные и графитовые пленки; микроволновой метод осаждения; автоэмиссионные элементы. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 2 2016 Формирование автоэмиссионных эмиттеров… The technology of forming the carbon emitters for the integrated field emission elements has been developed. <...> Одним из основных преимуществ неравновесной («холодной») микроволновой плазмы низкого давления в магнитном поле по сравнению с плазмой других типов электрических газовых разрядов, используемых в микро- и наноэлектронике, является возможность эффективного управления условиями получения углеродных структур в различных аллотропных модификациях [1]. <...> В настоящей работе определены режимы, обеспечивающие раздельное получение углеродных пленочных структур заданной модификации (алмазные, графитовые <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

  • Похожие документы из РУАЭСТ
  • |
  • Похожие документы из Руконт

Помощь:

Участники:

© НЦР Руконт 2014