Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники

технологическая экология; микроэлектроника; внутрипроизводственная среда; чистые помещения; система кондиционирования воздуха; эффективность функционирования.

Определение концентрации свободных носителей заряда в твердых растворах CdxHg1–xTe по спектрам отражения в дальней инфракрасной области, Моделирование теплового поражения СВЧ-диода мощным импульсом электромагнитного излучения, ...

УДК 586.36: 628.8 Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники <...> А.С. Рябышенков Национальный исследовательский университет «МИЭТ» System Analysis of Clean Rooms Functioning for Microelectronics A.S. <...> Ryabyshenkov National Research University of Electronic Technology Описаны основные концептуальные проблемы при проектировании и эксплуатации отечественной и зарубежной инфраструктуры чистых помещений высокотехнологических производств. <...> Разработана эффективная концепция технологической экологии микроэлектроники, направленная на защиту предмета труда от негативного влияния внутрипроизводственной среды системой кондиционирования воздуха. <...> Разработана и обоснована концепция технологической экологии микроэлектроники на основе системного анализа различных аспектов функционирования чистых помещений для микроэлектроники. <...> Ключевые слова: технологическая экология; микроэлектроника; внутрипроизводственная среда; чистые помещения; система кондиционирования воздуха; эффективность функционирования. <...> Попытки создания обобщенной концепции технологической экологии микроэлектроники, нацеленной главным образом на защиту предмета труда от негативного влияния внутрипроизводственной среды с помощью системы кондиционирования воздуха (СКВ), предпринимались и ранее. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 3 2016 Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники вопросы решались в работах [3–5], посвященных расчету и выбору параметров технологического оборудования по критерию минимума привносимой дефектности. <...> В [6] анализируются СКВ для чистых помещений (ЧП). <...> В современных условиях такая концепция должна учитывать не только полезность технической системы, но и ее экологичность, что предполагает ее тесные взаимосвязи с социально-экологической системой всей территории. <...> Многолетний опыт эксплуатации ЧП указывает на определенные недостатки предыдущих подходов к проектированию и эксплуатации СКВ. <...> Необходимы более полный учет <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт