Определение концентрации свободных носителей заряда в твердых растворах CdxHg1–xTe по спектрам отражения в дальней инфракрасной области
Предложен бесконтактный неразрушающий метод определения концентрации свободных носителей заряда в монокристаллических образцах твердых растворов CdxHg1–xTe и многослойных эпитаксиальных гетероструктурах на их основе по спектрам отражения в дальней инфракрасной области. На спектральной зависимости коэффициента отражения, полученной при комнатной температуре, определены характеристическая точка и отвечающее ей волновое число. С помощью рассчитанных градуировочных кривых получено значение концентрации тяжелых дырок. Показано, что при построении градуировочных кривых необходимо учитывать взаимодействие плазменных колебаний с продольными оптическими фононами.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
МЕТОДЫ И ТЕХНИКА ИЗМЕРЕНИЙ
MEASUREMENT METHODS AND TECHNOLOGY
УДК 621.315.592
Определение концентрации свободных носителей заряда
в твердых растворах CdxHg1–xTe по спектрам отражения
в дальней инфракрасной области <...> Lysenko2
1State Scientific Research and Design Institute
of Rare Metal Industry GIREDMET, Moscow
2National Research University Higher School of Economics, Moscow
Предложен бесконтактный неразрушающий метод определения концентрации
свободных носителей заряда в монокристаллических образцах
твердых растворов CdxHg1–xTe и многослойных эпитаксиальных гетероструктурах
на их основе по спектрам отражения в дальней инфракрасной
области. <...> На спектральной зависимости коэффициента отражения, полученной
при комнатной температуре, определены характеристическая точка
и отвечающее ей волновое число. <...> С помощью рассчитанных градуировочных
кривых получено значение концентрации тяжелых дырок. <...> Показано, что при построении градуировочных кривых необходимо учитывать
взаимодействие плазменных колебаний с продольными оптическими
фононами. <...> Ключевые слова: спектры отражения; твердые растворы CdxHg1–xTe; определение
концентрации свободных носителей заряда; плазмон-фононное взаимодействие. <...> Метод определения концентрации
свободных носителей заряда (КСНЗ), основанный на анализе инфракрасных спектров
отражения (плазменном резонансе), наиболее перспективен. <...> По характеристическим
точкам на спектральной зависимости коэффициента отражения определяется значение
плазменной частоты, по которому рассчитывается значение концентрации электронов
или дырок в зависимости от типа электропроводности исследуемого образца. <...> Метод
давно и широко используется применительно к сильно легированным полупроводникам
с КСНЗ порядка 1018 см–3 1–5, а также к узкозонным твердым растворам. <...> Данный метод определения КСНЗ вообще вне конкуренции, если объектом исследования
является эпитаксиальная структура (слой, выращенный на низкоомной подложке). <...> Поэтому путем послойного
стравливания можно установить профиль <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: