ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ПОЛИМЕТИЛМЕТАКРИЛАТНОЙ ОСНОВЕ

Путем экспериментального измерения нанесенных ионно-плазменным напылением тонких пленок SiC было показано, что эллипсометрический контроль технологического процесса изготовления сложных композиционных покрытий, позволяющий точно выбрать время нанесения покрытия для получения нужной толщины.

• Воронов А.П.
• Воронов И.А.
• Митрофанов Е.А.

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Социальные (общественные) науки
• Науки о человеке