РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Российский стоматологический журнал/2015/№ 1/

ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК КАРБИДА КРЕМНИЯ НА ПОЛИМЕТИЛМЕТАКРИЛАТНОЙ ОСНОВЕ

Путем экспериментального измерения нанесенных ионно-плазменным напылением тонких пленок SiC было показано, что эллипсометрический контроль технологического процесса изготовления сложных композиционных покрытий, позволяющий точно выбрать время нанесения покрытия для получения нужной толщины.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы: