Влияние термообработок на структуру, химический и электропроводность алмазоподобных кремнийуглеродных нанокомпозитов

Исследованы влияния термообработок на структуру, химический и фазовый составы и электропроводность пленок танталсодержащих алмазоподобных кремний-углеродных нанокомпозитов. Показано, что изменения фазового и химического составов материала и его электрофизических свойств при термообработках обусловлены взаимодействием с кислородом воздуха. В случае изоляции состав остается неизменным при термообработках до 800 °С. При этом наблюдаются лишь небольшие изменения электропроводности за счет структурных изменений в аморфной матрице.

• Попов А.И.
• Баринов А.Д.
• Пресняков М.Ю.
• Шупегин М.Л.

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Технические науки. Промышленность
• Физико-математические науки
• Социальные (общественные) науки