Методом эллипсометрии in situ изучен процесс анодного окисления алюминия в растворах щавелевой кислоты. Эксперименты проводились в специально разработанной электрохимической ячейке. Значения параметров растущего слоя проводилось с помощью решения обратной задачи эллипсометрии методом подгонки расчетных спектральных зависимостей эллипсометрических углов под экспериментальные данные в соответствии с основным уравнением эллипсометрии. Экспериментально определено время быстрой стадии образования барьерного слоя и медленной стадии образования толстого оксида. Определены кинетические закономерности стадий процесса образования анодного оксида.