Влияние отжига на морфологию поверхности и выходные параметры резистивных структур

отжиг резистивные структуры резистивные пленки рекристаллизация физико-математические модели режимы конденсации металлопленочные структуры морфология поверхности пленок термическая обработка хромоникелевые сплавы

Методика интеллектуальной поддержки принятия управленческого решения при определении победителей открытых конкурсов на основе интегральной предпочтительности заявки, Поддержка виртуальных сообществ в сети Интернет на основе анализа деятельности пользователей, ...

Поволжский регион УДК 621.316.8 И. А. Аверин, Ю. В. Аношкин, Р. М. Печерская ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА МОРФОЛОГИЮ ПОВЕРХНОСТИ И ВЫХОДНЫЕ ПАРАМЕТРЫ РЕЗИСТИВНЫХ СТРУКТУР Представлены результаты исследования влияния отжига в воздушной среде на свойства пленок и параметры структур на их основе. <...> Показано, что отжиг приводит к рекристаллизации структуры резистивных пленок, вызывающей изменение свойств, морфологии поверхности пленок и стабилизацию выходных параметров резистивных структур. <...> Разработана физикоматематическая модель управления выходными параметрами резистивных структур за счет выбора режимов конденсации и отжига. <...> Введение Для изготовления чувствительных элементов преобразователей информации широко применяются многокомпонентные металлопленочные резистивные структуры на основе хромоникелевых сплавов, которые получают методом термического испарения в вакууме, обеспечивающим как заданные свойства пленок, так и морфологию поверхности, определяющую поверхностные явления, а следовательно, и выходные параметры резистивных структур. <...> Управление свойствами пленок хромоникелевых сплавов достигается за счет их термической обработки в воздушной среде [1–3], вызывающей отжиг дефектов и рекристаллизацию структуры пленки. <...> 1 Методика эксперимента Резистивные структуры на основе хромоникелевых сплавов различного состава синтезируют методом термического испарения в вакууме на подложках из слюды и ситалла. <...> Контактные площадки к резистивным структурам формируют из Al и Cu. <...> Форму, размеры резистивных структур и контактных площадок задают с помощью биметаллических масок. <...> Отжиг структур производят в воздушной среде в диапазоне температур от 350 до 700 K. <...> Атомно-силовой микроскоп позволяет получать трехмерные изображения топологии поверхности пленок с латеральным разрешением, сравнимым с растровой электронной микроскопией, и визуализировать отдельные фрагменты поверхности пленки. <...> Сопротивление <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт