ЗАВИСИМОСТЬ ЭФФЕКТИВНОСТИ АЛЬТЕРНАТИВНОГО ЖИДКОФАЗНОГО СИЛИЦИРОВАНИЯ УУКМ ОТ ДАВЛЕНИЯ В РЕАКТОРЕ

Изучено жидкофазное силицирование при нагреве нитрида кремния. Температура его разложения снижается до 1600 – 1650°С при пониженном давлении в реакторе. В условиях квазизамкнутого объема в опытном реакторе была увеличена скорость нагрева изделий и нитрида кремния в интервале 1300 – 1650°С. Благодаря сокращению времени контакта частиц нитрида кремния с углеродсодержащими газами реакционной зоны были получены гладкие карбидокремниевые покрытия на тонкостенных деталях из углерод-карбидокремниевого материала. В крупногабаритном реакторе условия квазизамкнутости не реализуются и качество карбидных покрытий ухудшается.

• Бушуев В.М.
• Синани И.Л.
• Бушуев М.В.
• Воробьёв А.С.
• Щурик А.Г.

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки