ИССЛЕДОВАНИЕ ЛОКАЛЬНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ МЕТОДОМ НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ

Предложена аналитическая модель пластического взаимодействия токопроводящего индентора с исследуемым образцом. Экспериментальная проверка модели осуществлена на сканирующем нанотвердомере «НаноСкан» и зондовой нанолаборатории «ИНТЕГРА», с использованием инденторов из легированного бором монокристалла алмаза. Показано, что изменение значения тока дает дополнительную информацию о взаимодействии индентора с материалом. Обсуждается влияние изменений удельного сопротивления и контактной площади, происходящих при фазовых переходах в кремнии, на измеряемое значение тока.

• Ганзий Д.А.
• Кравчук К.С.
• Маслеников И.И.
• Прокудин С.В.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки