Представлен обзор исследований состава паровой фазы ди- и тригалогенидов Sm, Eu и Yb. Многие из этих соединений термически неустойчивы, что приводит к инконгруэнтному испарению и сложному составу пара. В рамках метода высокотемпературной масс-спектрометрии предложены подходы к расшифровке масс-спектров, основанные на совместном анализе функций эффективности ионизации, температурных и временных зависимостей ионных токов в режимах ионизации электронами и термоионной эмиссии, которые позволяют устанавливать молекулярный и ионный состав пара на разных стадиях испарения.