ГЛУБОКОЕ РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗА

Разработано и исследовано глубокое реактивное ионное травление поверхности синтетического монокристаллического алмаза в двухступенчатом процессе травления в плазме на основе SF6 и покрытия защитной пленкой в плазме на основе СF4. Для контроля рельефа поверхности алмазных образцов до и после обработки плазмой использована методика, основанная на анализе частотной зависимости спектральной плотности мощности экспериментальных изображений, полученных с помощью атомносиловой микроскопии на различных пространственных масштабах.

• Бланк В.Д.
• ВОЛКОВА П.
• Бормашов В.С.
• Буга С.Г.
• Голованов А.В.
• Тарелкин С.А.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки