ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ СИЛОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ

С помощью метода измерительного наноиндентирования были получены значения твердости и модуля упругости для образцов покрытий алмазоподобного углерода на кремнии и платины на кремнии. Зависимости механических характеристик системы от радиуса пятна контакта были обработаны с использованием различных моделей, и из этих данных были получены значения твердости и модуля упругости материала покрытий без влияния свойств подложки. Модуль упругости покрытий был также определен с помощью метода силовой спектроскопии.

• Маслеников И.И.
• Усеинов А.C.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки