Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы CH4 в условиях тлеющего разряда постоянного тока (p = 40–200 Па, i = 30–70 мА). Получены данные по приведенной напряженности электрического поля и концентрации электронов. Проведен анализ кинетики процессов образования и гибели нейтральных частиц.